YS/T 28-1992 硅片包装
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基本信息
| 标准名称： | 硅片包装 |
| 中标分类： | 冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属 |
| ICS分类： | 电气工程 >> 半导体材料 |
| 发布部门： | 中国有色金属工业总公司 |
| 发布日期： | 1992-03-09 |
| 实施日期： | 1993-01-01 |
| 首发日期： | |
| 作废日期： | |
| 提出单位： | 中国有色金属工业总公司标准计量研究所 |
| 起草单位： | 上海第二冶炼厂 |
| 起草人： | 孙瑾 |
| 出版日期： | 1993-01-01 |
| 页数： | 3页 |
适用范围
本 标准 规 定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。
本 标 准 适用于硅抛光片和硅外延片的包装。
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所属分类： 冶金 半金属与半导体材料 半金属 电气工程 半导体材料
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